宁波润华全芯微电子申请可提高产能的晶圆加工专利，提高晶圆加工产能

金融界2025年5月19日消息，国家知识产权局信息显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“一种可提高产能的晶圆加工方法、处理装置”的专利，公开号 CN119987141A，申请日期为 2025 年 2 月。

专利摘要显示，本发明申请涉及一种可提高产能的晶圆加工方法、处理装置，属于半导体制造工艺技术领域，可提高产能的晶圆加工方法包括：步骤 S100，第一机器人将晶圆从晶圆盒站中取出，并送入对位单元以对晶圆进行对位；第二机器人抓取对位后的晶圆，并将晶圆送入匀胶腔体内进行均胶；晶圆完成匀胶后，第二机器人从匀胶腔体内取出晶圆送入加热单元进行热烘；步骤 S200，当晶圆完成热烘后，第一机器人和第二机器人协同将晶圆送至冷却单元内进行冷却；晶圆完成冷却后，第一机器人从冷却单元内将晶圆取出并送回盒站内。本发明申请能够提高其晶圆加工的产能。

天眼查资料显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目136次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息165条，此外企业还拥有行政许可20个。

来源：金融界